上海微系统所、东莞理工学院于广辉，五十五所吴云SMTD：葡萄糖辅助实现晶圆级石墨烯鼓泡法转移

背景：CVD石墨烯从金属衬底向介电衬底转移是实现其规模化应用的关键，鼓泡法虽有优势，但传统工艺中气泡运动易对石墨烯造成应变、褶皱甚至破裂。研究目的：开发一种葡萄糖辅助的电化学鼓泡法，通过减弱石墨烯与金属衬底间的耦合强度，降低鼓泡剥离时的机械力，从而提升石墨烯转移的质量与完整性。结论：引入葡萄糖到鼓泡转移溶液中，利用其插层作用增强了与石墨烯和金属衬底的吸附能，成功实现了Pt、Cu、CuNi合金等多种金属衬底上晶畴、单层膜和双层膜CVD石墨烯的普适性高质量转移。转移后的石墨烯具备优良的电学性能，基于其制造的场效应晶体管（FET）展现出优异的传输特性和高频特性。该方法具有强普适性且对衬底无损，具备广泛应用潜能。