研究前沿：二维晶体硬掩模-高深宽比纳米加工 | Nature Materials

背景：在纳米加工中，制备高深宽比纳米结构需要具有高刻蚀选择性的硬掩模，而现有二维材料和传统硬掩模易受等离子体损伤或性能不足。研究目的：研究团队旨在探索新型二维范德华金属氧卤化物（如CrOCl和FeOCl）作为硬掩模材料的性能，以解决传统材料的局限性。结论：研究发现CrOCl等材料对强腐蚀性SF₆/O₂等离子体表现出卓越的抗蚀性，刻蚀选择性远超Si₃N₄、Al₂O₃等传统材料，并能通过机械转移实现多种衬底（包括钙钛矿氧化物、聚合物等）的图形化加工，成功制备了深宽比超过39:1且结构畸变极小的硅纳米结构，证明其可作为下一代通用、可规模化的纳米加工平台材料。