The Innovation Materials | 柔韧似蝉翼、难熔如陶瓷：柔性耐高温TiN等离激元纳米阵列的晶圆级创制

背景：柔性等离激元纳米阵列在柔性传感、成像等领域有应用前景，但传统材料存在稳定性不足、高温环境下性能差的问题。研究目的：开发一种兼具柔性和耐高温特性的TiN等离激元纳米阵列，突破传统材料的限制。结论：本研究在柔性难熔氟晶云母衬底上成功实现了TiN单晶纳米阵列的晶圆级制备，该材料具有800℃工作温度、双曲色散、超亲水、高光吸收等特性，为柔性高温光子学和光热转换应用提供了新策略。