研究透视：氮化硅光子芯片 | Science
今日新材料
2025-11-08 11:30
文章摘要
本研究针对集成非线性光子技术中因制造误差导致频率-相位匹配失效的难题，提出了一种无源调控的嵌套频率-相位匹配机制。通过商用氮化硅耦合环形谐振器构建双时间尺度晶格，在无需主动调谐的情况下实现了基频至四次谐波的宽带同步产生。实验采用10×10环形谐振器阵列，通过光谱与空间成像验证了该机制对制造误差的鲁棒性，最终达成100%晶圆级器件产率，为芯片级非线性光学在频率转换、精密计量等领域的规模化应用提供了可行方案。
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