华科大肖峻峰团队《光学精密工程》封面 | 超声赋能：机器人抛光提质新路径

本文针对航空航天和精密光学仪器等领域对光学元件表面质量的严苛要求，研究了机器人超声辅助抛光技术。背景显示该技术融合机器人运动控制与超声振动，为高精度抛光提供新路径，但存在磨粒与材料相互作用探索有限等问题。研究目的是通过分析超声振动场中磨粒运动特性和材料去除微观机制，优化工艺参数以提升硫化锌元件的表面质量。结论表明，超声辅助抛光能有效降低表面粗糙度和面型误差，实验中将硫化锌表面粗糙度Sa值从2.632nm降至1.782nm，证实该技术可改善光学元件制造精度与效率，为高端光学元件制造提供理论支撑和工程解决方案。