Nat.Commun.：柔性电子-基于通用微光刻策略的超集成柔性有机晶体管
材料人
2025-10-22 09:48
文章摘要
本文针对有机材料与传统光刻工艺不兼容的问题，提出了一种通用无损的超薄正交双保护层光刻方法。研究背景显示传统光刻溶剂会导致有机薄膜性能下降，制约柔性电子发展。研究目的是通过引入抗溶剂和抗水保护层，实现有机材料的高精度无损图案化。实验证明共轭聚合物保护层能有效阻滞水分子扩散，获得100%图案良品率。最终成功制备出器件密度达512万个/cm²、迁移率2.6 cm²V⁻¹s⁻¹、具备优异稳定性的全光刻柔性有机晶体管阵列，为柔性电子商业化提供了关键技术支撑。
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