7nm，远程外延，登上Nature！
纳米人
2025-10-04 21:52
文章摘要
本文研究背景聚焦于远程外延技术，该技术通过远程相互作用实现薄膜与衬底的外延关系，突破传统晶格匹配限制。研究目的旨在解决远程相互作用距离受限（传统<1nm）和机制争议问题，通过实验验证长距离远程外延的可行性。研究结论表明，在2-7纳米距离下可实现远程外延，并首次揭示衬底位错通过静电作用介导长程相互作用，实验证实外延岛与位错存在一一对应关系，为半导体材料加工提供了新工具。
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