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研之成理
2025-09-29 12:05
文章摘要
本文针对范德华材料与硅基工艺不兼容的难题，提出了一种基于电双层静电排斥的新型转移技术。研究背景指出传统转移方法存在材料损伤和界面污染等问题，研究目的旨在开发一种能同时满足高完整性、高清洁度的综合解决方案。通过浓氨水溶液中的电双层斥力机制，实现了材料与衬底的无损快速分离。结论表明该方法使二维晶体管表现出近理想亚阈值摆动和超高开态电流，器件成品率达100%，且支持衬底重复使用，为二维材料在三维集成电路中的应用提供了可行工艺路径。
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