浙大鲍宗必团队: 含氟特气中结构相似杂质的定向脱除

本文介绍了浙江大学鲍宗必教授团队在含氟特气分离领域的研究成果。针对半导体制造中电子特气超高纯分离的瓶颈问题，团队创新性地开发了一种超微孔碳分子筛材料（PRC-15CO2），通过二氧化碳刻蚀作用精确调控微孔孔径，实现了对六氟丙烯/八氟丙烷体系的高效筛分分离。该材料在常压下对六氟丙烯吸附量达2.34 mmol g−1，六氟丙烯/八氟丙烷吸附容量比高达70.48，固定床穿透实验证明其可连续产出纯度>99.999%的电子特气。研究揭示了超微孔工程对提升碳分子筛分离特性的核心作用，为含氟电子特种气体超高纯分离技术开发奠定基础，并为高性能吸附剂设计提供了新思路。