LAM | 香港理工大学张阿平团队研制一种3D微打印光纤干涉式加速度计

本文介绍了香港理工大学张阿平教授团队研制的一种基于3D微打印技术的微型光纤干涉式加速度计。该加速度计采用法布里-珀罗干涉仪结构，通过光学3D微打印技术在光纤陶瓷插芯端面上原位打印制造，具有体积小、灵敏度高、抗电磁干扰等优点。研究团队设计了两层结构，包括三瓣底座和上层3D微机械结构，通过优化设计和制造工艺，成功制备出直径约400微米的微型加速度计。实验测试表明，该加速度计的平坦区域带宽可达2~3 kHz，灵敏度达到148.61 mv/g。该技术有望在自动驾驶、航空航天等高精度测量领域得到应用。