胡春光团队《光学精密工程》封面文章 | 自注意力神经网络光谱干涉膜厚测量

本文介绍了天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室微纳光学测控团队在《光学精密工程》上发表的一项研究，针对低信噪比光谱干涉环境下的晶圆厚度测量问题，提出了一种基于自注意力神经网络的测量方法。该方法通过自适应注意力机制动态调整不同波长光谱点的权重，增强了对低信噪比数据的解析能力，并结合双向长短期记忆网络建立全局-局部的层次化特征学习策略。实验结果表明，该方法在存在划痕的晶圆上测量时，最大相对误差仅为3.62%，显著优于传统傅里叶变换方法的14.76%，展现出更强的抗噪能力和可靠性。该方法适用于半导体制造、光学镀膜等领域的在线薄膜厚度测量，具有重要的工程应用价值。