香港城市大学Nature Materials | 等离激元光热打印助力异质异构器件集成

香港城市大学研究团队开发了一种名为“等离激元光热打印”的新技术，该技术在室温常压条件下，利用飞秒激光激发银纳米线产生瞬时空间高度局域热场，精准驱动透明金属氧化物前驱体快速转化。这一技术具有加工环境简单、材料通用性强、高分辨率、高通量和低成本等特点，成功构建了多种高密度、多层结构复杂的全金属氧化物电子器件。研究团队展示了高性能全金属氧化物晶体管阵列和集成逻辑门器件，其性能媲美传统工艺制备的器件。该技术为集成电子、光电子芯片及多种类型传感器件的高通量、低成本制造提供了全新的解决方案。