正交偏振光谱干涉技术:打破实时测量分辨率瓶颈 | Adv. Photon. Nexus

中国激光杂志社 2025-06-23 16:13
文章摘要
本文介绍了浙江大学研究团队提出的一种实时正交偏振光谱干涉(OPSI)技术,旨在解决色散光谱干涉(DSI)技术在高速、高精度测量中的瓶颈问题。研究背景指出,传统干涉测量技术难以同时实现高分辨率、大动态范围和高速测量。研究目的是通过抑制激光器的相位噪声,提升实时干涉测量的分辨率。实验结果表明,该技术实现了1.1 mrad的实时相位分辨率和60 pm的位移精度,测量帧率超过20 MHz。结论显示,该技术为精密制造和动态过程监测提供了新的解决方案。
正交偏振光谱干涉技术:打破实时测量分辨率瓶颈 | Adv. Photon. Nexus
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