香港城市大学,Nature Materials!

研之成理 2025-06-22 12:13
文章摘要
本研究报道了一种名为"等离子体打印"的创新工艺,可在室温环境下制备高性能全溶液法金属氧化物薄膜电子器件。该技术利用飞秒激光激发的银纳米线产生等离子体局部热效应,能在0.3秒内将金属氧化物前驱体原位转化为高质量薄膜。通过精确图案化控制,成功制备出高密度全溶液法金属氧化物晶体管阵列及集成逻辑门电路。该技术为低成本、高通量打印高密度复杂多层溶液法金属氧化物电子器件开辟了新途径,其性能可与真空工艺制备的器件相媲美。
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