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本文介绍了一种新型的三维柔性探头（3D-FPH）及其在微尺度发光二极管（LED）晶圆的电致发光（EL）测量中的应用。研究背景是微尺度LED作为下一代显示技术的核心组件，其大规模生产面临高通量、无损检测的挑战。研究目的是开发一种能够适应微尺度LED表面不平整并容忍高度差异的检测工具。3D-FPH由弹性微柱和铜质圆顶接触头组成，具有32×32对探针，可在0.5秒内同时测量1024个微尺度LED，测量速度达到737万像素/小时。实验结果表明，3D-FPH的接触应力仅为0.91 MPa，远低于传统刚性探针，减少了表面缺陷和探针磨损，并能进行超过100万次的重复接触测量。该研究为微尺度LED的质量控制和性能评估提供了有力工具，并展示了柔性电子技术在半导体测试领域的潜力。