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Advanced Materials | 极化激元技术应用新突破

纳米人 2025-06-11 19:45
文章摘要
随着5G、人工智能和量子计算的发展，半导体产业面临检测技术挑战，传统光学检测技术受限于衍射极限，难以满足未来制程需求。澳门科技大学欧清东助理教授等合作者在Advanced Materials发表论文，提出一种新型超分辨成像方案，结合暗场光学、原子力显微镜与α-MoO3范德华材料透镜，实现15纳米级检测精度，并首次实现封装电路的缺陷无损成像。该技术基于低损耗二维材料平台，为突破衍射极限的近场显微成像提供了新途径，有望推动纳米结构与生物分子的光学成像研究。
Advanced Materials | 极化激元技术应用新突破
查看文献： Natural van der Waals Canalization Lens for Non-Destructive Nanoelectronic Circuit Imaging and Inspection.
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