哈工大马欲飞团队Light | ppq量级激光光谱气体传感技术

本文介绍了哈尔滨工业大学马欲飞团队在超高灵敏度气体传感技术方面的研究进展。背景方面，半导体工业、能源产业及星际探索等领域对气体检测的极限灵敏度提出了严苛要求。研究目的是通过优化多通池和石英音叉设计，提升光致热弹光谱（LITES）技术的性能。研究团队采用人工鱼群算法和光线追迹算法优化多通池光学模型，并设计出具有低共振频率及高品质因数的圆形头石英音叉，涂覆PDMS以增强性能。实验结果表明，该技术对一氧化碳的最小探测极限达到920.7 ppq，信噪比提升10.59倍。结论方面，该研究首次实现了ppq量级气体检测，为超高灵敏度气体传感技术的发展提供了重要参考。