化学气相沉积(CVD)技术解读!
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2025-05-17 09:40
文章摘要
化学气相沉积(CVD)技术是一种通过气相物质在材料表面发生物理或化学变化来沉积薄膜或涂层的方法,广泛应用于材料表面处理和新型材料制备。文章详细介绍了CVD技术的基本原理、反应条件、反应物状态及常见的反应类型,如热分解反应、氢还原反应等。此外,文章还探讨了CVD技术的不同类型及其在微电子、表面处理等领域的应用,强调了其在耐磨、抗氧化、抗腐蚀等方面的优势。最后,通过案例分析展示了CVD技术在制备高质量单晶薄膜方面的实际应用和潜力。
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