Nature Materials！南理工发表重要成果！
材料科学与工程
2025-03-16 20:56
文章摘要
南京理工大学材料学院的曾海波和陈翔教授团队在《自然材料》期刊上发表了一项关于新型二维P型半导体材料与高性能晶体管器件的研究。该研究针对后摩尔时代亚10nm CMOS半导体技术节点的需求，提出了一种新的材料生长策略，通过盐-氧辅助化学气相沉积技术，成功合成了原子级平整、厚度及带隙可调的二维P型β-Bi2O3单晶。研究发现了一种罕见的气-液-固-固（VLSS）生长机制，并实现了高迁移率、高可靠性的二维P型β-Bi2O3场效应晶体管器件。该研究成果为后摩尔时代高性能低功耗CMOS器件的发展提供了关键的材料支撑，标志着在该领域的重大突破。
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