《Light》:全无机晶体内非晶光子结构单脉冲光刻新进展

材料科学与工程 2026-04-01 09:00
文章摘要
背景:在透明介质晶体内部引入非晶相是实现芯片内光调控的重要途径,但传统非晶化方法空间选择性不足,超快激光多脉冲加工易导致结构不均匀和纯度问题。研究目的:提出单脉冲各向异性非晶化光刻(SAAL)技术,利用单个超快激光脉冲在多种全无机透明晶体内部直接写入规则、高纯度的非晶单元,以提升三维非线性光调控器件的构筑效率。结论:SAAL技术通过高密度自由电子与热效应协同驱动,实现了高纯度、规则可控的三维相变构筑,在非线性频率转换、涡旋光束产生等方面展现出优异性能和应用前景,未来有望构建新一代全无机三维集成光子平台。
《Light》:全无机晶体内非晶光子结构单脉冲光刻新进展
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