清华大学化学系张昊团队Angew：基于光诱导氟化策略的ZIFs直接光刻图案化
化学加
2025-02-23 10:06
文章摘要
本文介绍了清华大学化学系张昊团队提出的一种基于光诱导氟化的金属有机框架材料（MOFs）直接光刻图案化方法。该方法通过光敏氟化分子与ZIFs的共价结合，提高了曝光区域ZIFs在水中的稳定性，从而在低剂量紫外光下实现了高分辨率的图案化。研究背景是MOFs在微电子、纳米光子学和传感器等领域的应用需求，研究目的是解决MOFs精确图案化并集成到固态器件中的挑战。结论是该方法为MOFs在固态器件中的应用提供了新的思路，并展示了其在柔性基底上的应用潜力。
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