2025首期Nature:硅基半导体新技术!
材料人
2025-01-02 10:13
文章摘要
本文介绍了硅光子学技术的发展及其在通信、计算和感知领域的潜力,指出缺乏高度可扩展的CMOS集成光源是其主要障碍。文章详细讨论了通过直接外延III-V材料实现单片集成的挑战和进展,特别是比利时微电子研究中心(imec)提出的纳米脊工程(NRE)技术。该技术通过在硅晶片上选择性生长III-V材料,有效减少了缺陷,并在300毫米Si晶圆上成功制造了全晶圆级电泵浦砷化镓(GaAs)基激光器。研究展示了该激光器在室温下的连续波激光工作,波长约为1020 nm,阈值电流低至5 mA,输出功率超过1 mW。这些成果表明,III-V/Si纳米脊工程在硅光子学平台中集成激光二极管具有巨大潜力,为未来在光学传感、互连等领域的成本敏感型大批量应用提供了可能。
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