撕出一篇Nature!
纳米人
2024-12-19 08:44
文章摘要
本文报道了一种通过胶带边缘剥离策略大规模制备超薄、超平整、超柔性金刚石薄膜的方法。该方法能够制备出大面积(2英寸晶圆)、亚微米厚度、表面粗糙度低于纳米的金刚石薄膜,具有优异的光学透光性和结构完整性。研究通过实验和理论分析,优化了剥离角度和膜厚度对薄膜品质的影响,展示了这种薄膜在电子学、光子学等领域的广泛应用前景。此外,该薄膜的超柔性特点使其能够直接用于弹性应变工程和变形传感应用,为金刚石材料在相关领域的商业化应用提供了新的路径。
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