南航姬科举课题组 Small：高温晶圆搬运 - 仿生摩擦垫
高分子科技
2024-11-27 13:07
文章摘要
南京航空航天大学姬科举课题组提出了一种适用于高温环境下的仿生被动摩擦垫设计和实现方法，灵感来源于蝗虫趾垫结构。通过耐高温硅橡胶材料和多能场复合制造工艺，研制出具有末端圆弧面凸起特征的微结构阵列仿生材料。研究结果表明，仿生摩擦垫在高温条件下展现出低黏附、高摩擦的界面力学特性，有效解决了高温环境下晶圆等脆性材料的无损、精准、高效搬运问题。该研究成果已在《Small》上发表，并得到了国家自然科学基金等多项资助。
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