SmartMat Perspective：基于二维材料的场效应晶体管的原子尺度界面工程
MaterialsViews
2024-11-05 08:30
文章摘要
本文探讨了基于二维材料的场效应晶体管（FETs）的原子尺度界面工程。文章指出，尽管二维材料因其原子厚度和优异的电子性能被视为下一代FETs的理想沟道材料，但其性能仍受限于电极/介电体与二维材料之间的界面。为此，研究重点在于通过原子尺度界面工程来提高设备的稳定性、减少接触电阻和提升移动性。文中提供了实现欧姆接触和开发高质量、无缺陷介电层的策略，并简要分析了二维材料基FETs的性能提升及其与硅衬底的结合。
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