Light Adv. Manuf. | 高质量硅基异质集成钛酸钡调制器

本文由东南大学王俊嘉教授和西安交通大学董国华教授团队提出，介绍了一种高质量硅基异质集成钛酸钡（BaTiO3, BTO）调制器，实现了低损耗的电光调制。该调制器在硅上异质集成BTO，具有较高的调制效率，VπL值低至1.67 V·cm，有助于实现紧凑型电光调制器。BTO与绝缘层上硅（SOI）波导的异质集成有望推动高速、高效电光调制器的发展。研究团队通过微转印方法将BTO膜转移到硅基波导马赫增德干涉结构上，简化了制备工艺，并在SOI平台上得到高质量BTO薄膜。该工作展示了BTO薄膜的优异电光性能及其与CMOS工艺的兼容性，为未来光通信和信号处理系统中的光子集成器件提供了新的可能性。