极紫外与X射线薄膜光学元件：极限观测与制造的基石 | 光学十五邀
中国激光杂志社
2024-11-01 16:05
文章摘要
本文介绍了极紫外与X射线（XUV）光学元件在现代科学中的重要性，特别是在分子和原子尺度上的物质结构和演化规律的研究。文章详细讨论了XUV光学元件的类型，包括反射式、衍射式和透射式元件，并特别强调了薄膜反射元件在XUV装置和仪器中的广泛应用。文章还探讨了多层膜技术在提高反射率和光谱调控中的关键作用，以及高精度反射镜在同步辐射和XUV自由电子激光光源中的应用。最后，文章展望了未来XUV薄膜反射元件的发展方向，包括提高反射率、增强光谱调控能力和研制复杂形貌的反射镜。
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