{"title":"SF6等离子体脱离热平衡的研究","authors":"P. André","doi":"10.1051/JP3:1997191","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"L'influence des parametres suivants : temperature de vibration, desequilibre thermique, pression et vapeurs de cuivre sur la composition et la capacite calorifique d'un plasma de SF 6 hors d'equilibre thermique est etudiee. Les effets de ces parametres sur les reactions chimiques et le comportement du plasma sont discutes. Par exemple, nous montrons que la concentration des especes chimiques chargees negativement diminue a mesure que le desequilibre thermique augmente.","PeriodicalId":237595,"journal":{"name":"Journal De Physique Iii","volume":"26 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"1997-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"13","resultStr":"{\"title\":\"Étude d'un plasma de SF6 hors d'équilibre thermique\",\"authors\":\"P. André\",\"doi\":\"10.1051/JP3:1997191\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"L'influence des parametres suivants : temperature de vibration, desequilibre thermique, pression et vapeurs de cuivre sur la composition et la capacite calorifique d'un plasma de SF 6 hors d'equilibre thermique est etudiee. Les effets de ces parametres sur les reactions chimiques et le comportement du plasma sont discutes. Par exemple, nous montrons que la concentration des especes chimiques chargees negativement diminue a mesure que le desequilibre thermique augmente.\",\"PeriodicalId\":237595,\"journal\":{\"name\":\"Journal De Physique Iii\",\"volume\":\"26 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"1997-06-01\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"13\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Journal De Physique Iii\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.1051/JP3:1997191\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Journal De Physique Iii","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.1051/JP3:1997191","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Étude d'un plasma de SF6 hors d'équilibre thermique
L'influence des parametres suivants : temperature de vibration, desequilibre thermique, pression et vapeurs de cuivre sur la composition et la capacite calorifique d'un plasma de SF 6 hors d'equilibre thermique est etudiee. Les effets de ces parametres sur les reactions chimiques et le comportement du plasma sont discutes. Par exemple, nous montrons que la concentration des especes chimiques chargees negativement diminue a mesure que le desequilibre thermique augmente.