Роста и субструктура пленок ниобата лития

Abstract

Проведены исследования начальных стадий роста пленок ниобата лития на Si в процессе ВЧМР, исследовано влияние условий ВЧМР и последующих обработок (ТО, ИФО, БТО) на структуру, субструктуру и ориентацию получаемых покрытий. Установлено, что начальные стадии роста пленок ниобата лития в процессе ВЧМР на подогретой до 550 °С Si подложке характеризуются островковым зарождением кристаллитов и последующей их коалесценцией. Показана возможность управления текстурой пленок ниобата лития в процессе ВЧМР в условиях воздействия плазмы ВЧ-разряда, путем изменения состава рабочего газа. Показан эффект ИФО в кристаллизации аморфных пленок состава ниобата лития, заключающийся в формировании однофазной нанокристаллической пленки ниобата лития, в процессе обработки на воздухе.   ИСТОЧНИК ФИНАНСИРОВАНИЯ Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ, проект № 18-33-00836.     ЛИТЕРАТУРА Lu Y, Dekker P., Dawes J.M. Journal of Crystal Growth, 2009, vol. 311, pp. 1441-1445. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2008.12.035 Poghosyan A. R., Guo R., Manukyan A. L., Grigoryana S. G. SPIE, 2007, vol. 6698, pp. 1-5. https://doi.org/10.1117/12.734353 Kadota M., Suzuki Y., Ito Y. Japanese Journal of Applied Physics, 2011, vol. 50, pp. 1-5. DOI: https://doi.org/10.1143/jjap.50.07hd10 Hao L., Li Y., Zhu J., Wu Z., Wang J., Liu X., Zhang W. Journal of Alloys and Compounds, 2014, vol. 599, pp. 108-113. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2014.02.078 Gupta V., Bhattacharya P., Yuzyuk Yu. I., Katiyar R. S. Mater. Res., 2004, vol. 19, N 8, pp. 2235-2239. https://doi.org/10.1557/jmr.2004.0322 Tan S., Gilbert T., Hung C.-Y., and Schlesinger T. E. Phys. Lett., 1996, vol. 68, p. 2651. https://doi.org/10.1063/1.116270   Shih W.-C., Sun X.-Y. Physica B: Condensed Matter, 2010, vol. 405, no. 6, pp. 1619–623. https://doi.org/10.1016/j.physb.2009.12.054 Barinov S. M., Belonogov E. K., Ievlev V. M., et al. DokladyPhysical Chemistry, 2007, vol. 412, no. 1, pp. 15-18.  https://doi.org/10.1134/s0012501607010058  Hansen P. J., Terao Y., Wu Y., York R. A., Mishra U. K., Speck J. S. Vac. Sci. Technol., 2005, vol. 23, № 1, pp. 162-167. https://doi.org/10.1116/1.1850106 Sumets M., Ievlev V., Kostyuchenko A., Vakhtel V., Kannykin S., Kobzev A. Thin Solid Films, 2014, vol. 552, pp. 32–38. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.12.005 Seok-Won Choi, et al. The Korean Journal of Ceramics, 2000, vol. 6, no. 20, pp. 138-142. Ievlev V. M., Soldatenko S. A., Kushhev S. B., Gorozhankin Ju. V. Inorganic Materials, 2008, vol. 44, no. 7, pp. 705-712. https://doi.org/10.1134/s0020168508070066 Ievlev V. M., Turaeva T. L., Latyshev A. N., et al. The Physics of Metals and Metallography, 2007, vol. 103, no. 1, pp. 58-63. https://doi.org/10.1134/s0031918x07010073