水晶振動子圧力センサ出力の安定性改善のためのプリアンプへの温度の影響低減;水晶振動子圧力センサ出力の安定性改善のためのプリアンプへの温度の影響低減;Reduction of Influence of Temperature on a Preamp to Improve Stability of Output from a Pressure Sensor Using a Temperature-Stable Quartz Oscillator

Journal of The Vacuum Society of Japan Pub Date : 2017-01-01 DOI:10.3131/JVSJ2.60.131

Atsushi Suzuki

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Abstract

Reduction of In‰uence of Temperature on a Preamp to Improve Stability of Output from a Pressure Sensor Using a Temperature-Stable Quartz Oscillator Atsushi SUZUKI1 1Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST, Tsukuba Central 2, 111 Umezono, Tsukuba-shi, Ibaraki 3058568, Japan

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降低温度对前置放大器的影响，改善晶振压力传感器输出的稳定性;降低温度对前置放大器的影响，改善晶振压力传感器输出的稳定性;Reduction of Influence of Temperature on a Preamp to Improve Stability of Output from a PressureSensor Using a Temperature-Stable Quartz Oscillator

利用温度稳定石英振荡器降低前置放大器的温度影响以提高压力传感器输出的稳定性Atsushi SUZUKI11日本国家计量研究所，国家先进工业科学技术研究所，筑波中心2,111梅佐诺，筑波市，茨城市3058568

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