Termodynamiczne i kinetyczne aspekty regulowanego azotowania gazowego

Inżynieria Powierzchni Pub Date : 2019-04-16 DOI:10.5604/01.3001.0013.1487

J. Michalski, J. Tacikowski

{"title":"Termodynamiczne i kinetyczne aspekty regulowanego azotowania gazowego","authors":"J. Michalski, J. Tacikowski","doi":"10.5604/01.3001.0013.1487","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"W artykule porównano dwuskładnikowe atmosfery wlotowe rozcieńczane zdysocjowanym amoniakiem (NH3/NH3zd) oraz azotem (NH3/N2). W atmosferach NH3/NH3zd rozporządzalność azotu regulowano zmieniając stopień rozcieńczenia atmosfery wlotowej zdysocjowanym amoniakiem. W atmosferach wlotowych NH3/N2 rozporządzalność azotu regulowano również zmieniając stopień rozcieńczenia azotem atmosfery wlotowej. W artykule wykazano między innymi, jeżeli w pierwszym stopniu procesu wartość potencjału przyjmuje wartości z obszaru trwałości fazy γ’, towarzyszy temu ograniczenie kinetyki wzrostu warstwy azotowanej. Ograniczenie to występuje również po wzroście potencjału do wartości z obszaru trwałości fazy ε. W odróżnieniu od atmosfery rozcieńczanej zdysocjowanym amoniakiem, nie ma znaczenia, czy w pierwszym stopniu procesu rozporządzalność azotu jest niska a w drugim stopniu wysoka czy też odwrotnie, końcowy efekt procesu pod względem parametrów warstwy azotowanej jak i pod względem kinetyki wzrostu grubości warstwy azotowanej jest taki sam. Świadczy to o uniwersalności atmosfer azotujących uzyskanych z dwuskładnikowej atmosfery wlotowej rozcieńczanej azotem.\n\n","PeriodicalId":348539,"journal":{"name":"Inżynieria Powierzchni","volume":"5 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2019-04-16","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"2","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Inżynieria Powierzchni","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.5604/01.3001.0013.1487","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 2

Abstract

W artykule porównano dwuskładnikowe atmosfery wlotowe rozcieńczane zdysocjowanym amoniakiem (NH3/NH3zd) oraz azotem (NH3/N2). W atmosferach NH3/NH3zd rozporządzalność azotu regulowano zmieniając stopień rozcieńczenia atmosfery wlotowej zdysocjowanym amoniakiem. W atmosferach wlotowych NH3/N2 rozporządzalność azotu regulowano również zmieniając stopień rozcieńczenia azotem atmosfery wlotowej. W artykule wykazano między innymi, jeżeli w pierwszym stopniu procesu wartość potencjału przyjmuje wartości z obszaru trwałości fazy γ’, towarzyszy temu ograniczenie kinetyki wzrostu warstwy azotowanej. Ograniczenie to występuje również po wzroście potencjału do wartości z obszaru trwałości fazy ε. W odróżnieniu od atmosfery rozcieńczanej zdysocjowanym amoniakiem, nie ma znaczenia, czy w pierwszym stopniu procesu rozporządzalność azotu jest niska a w drugim stopniu wysoka czy też odwrotnie, końcowy efekt procesu pod względem parametrów warstwy azotowanej jak i pod względem kinetyki wzrostu grubości warstwy azotowanej jest taki sam. Świadczy to o uniwersalności atmosfer azotujących uzyskanych z dwuskładnikowej atmosfery wlotowej rozcieńczanej azotem.

查看原文本刊更多论文

本文比较了用离解氨（NH3/NH3zd）和氮（NH3/N2）稀释的二元入口气氛。在 NH3/NH3zd 大气环境中，氮气的分散性是通过改变入口大气中离解氨的稀释程度来控制的。在 NH3/N2 进气口大气中，氮的分散性也是通过改变氮对进气口大气的稀释程度来控制的。除其他外，论文还表明，如果在第一个工艺步骤中，电位值取自 γ'相持续区，则氮化层的生长动力学会受到限制。在电位上升到ε'相持久区的数值后，也会出现这种限制。与用离解氨稀释的气氛相比，无论氮的配置是在第一个工艺步骤中低，在第二个工艺步骤中高，还是反之亦然，氮化层参数和氮化层厚度生长动力学方面的最终工艺效果都是一样的。这证明了从双组分氮稀释入口气氛中获得的氮化气氛的多功能性。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Inżynieria Powierzchni

自引率

0.00%

发文量