Direct bonding of PEN at room temperature by means of surface activated bonding method using nano-adhesion layer

2013 3rd IEEE CPMT Symposium Japan Pub Date : 2013-11-01 DOI:10.1109/ICSJ.2013.6756120

T. Matsumae, M. Fujino, T. Suga

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Abstract

We realized the room temperature direct bonding method for polyethylene 2, 6 naphthalene dicarboxylate (polyethylene naphthalate, PEN) film by means of surface activated bonding method using nano-adhesion layer.

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采用纳米黏附层的表面活化键合方法，实现了聚乙烯2,6萘二甲酸乙二醇酯(聚乙烯萘二甲酸酯，PEN)薄膜的室温直接键合方法。

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2013 3rd IEEE CPMT Symposium Japan

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