{"title":"Выбор оптимальной структуры фоточувствительной гибридной сборки на\nохлаждаемом пьедестале криостата","authors":"П.С. Загубисало, А.Р. Новоселов","doi":"10.34077/rcsp2021-151","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Проведено сравнение известных способов фиксации фоточувствительной гибридной сборки на\nохлаждаемом пьедестале криостата. Оно осуществлялось на модели сборки, состоящей из пластин:\nGaAs / In / Si / GaAs (опциональный компенсационный слой). Способы фиксации: закрепление сборки,\nпозволяющее свободно изгибаться при охлаждении, жесткое крепление сборки на сапфировом растре\nсо стороны кремниевой микросхемы. Варьирование толщин в рамках сравниваемых способов\nфиксации, позволило выбрать оптимальную конструкцию крепления гибридной сборки в охлаждаемом\nкриостате. Исследование проводилось с помощью радиально-симметричной модели, в которой\nнапряжения при охлаждении моделировались методом конечных элементов. Диаметр всех слоёв\nравнялся 10 мм. Толщины слоёв GaAs и кремния варьировались от 50 мкм до 700 мкм,\nкомпенсационного слоя GaAs – от 0 мкм до 700 мкм. Толщина слоя сапфира бралась много больше\nисследованных толщин GaAs и кремния.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"1 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-151","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
Проведено сравнение известных способов фиксации фоточувствительной гибридной сборки на
охлаждаемом пьедестале криостата. Оно осуществлялось на модели сборки, состоящей из пластин:
GaAs / In / Si / GaAs (опциональный компенсационный слой). Способы фиксации: закрепление сборки,
позволяющее свободно изгибаться при охлаждении, жесткое крепление сборки на сапфировом растре
со стороны кремниевой микросхемы. Варьирование толщин в рамках сравниваемых способов
фиксации, позволило выбрать оптимальную конструкцию крепления гибридной сборки в охлаждаемом
криостате. Исследование проводилось с помощью радиально-симметричной модели, в которой
напряжения при охлаждении моделировались методом конечных элементов. Диаметр всех слоёв
равнялся 10 мм. Толщины слоёв GaAs и кремния варьировались от 50 мкм до 700 мкм,
компенсационного слоя GaAs – от 0 мкм до 700 мкм. Толщина слоя сапфира бралась много больше
исследованных толщин GaAs и кремния.