Dual-wavelength vertical-cavity surface-emitting laser arrays fabricated by nonplanar wafer bonding

IEEE 18th International Semiconductor Laser Conference Pub Date : 2002-12-10 DOI:10.1109/ISLC.2002.1041156

J. Geske, Y. Okuno, J. Bowers

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Abstract

A dual-wavelength 1550 nm and 1530 nm VCSEL array is fabricated using two separate and distinct active regions integrated on a common mirror by nonplanar wafer bonding.

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IEEE 18th International Semiconductor Laser Conference

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