High-power multi-beam AlGaAs TQW lasers with buried-ridge, stripe structure fabricated by using novel etching stop technique

13th IEEE International Semiconductor Laser Conference Pub Date : 1992-09-21 DOI:10.1109/ISLC.1992.763590

A. Shima, T. Kadowaki, H. Tada, T. Miura, T. Shiba, M. Miyashita, S. Kageyarna, E. Omura, M. Aiga, K. Ikeda

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采用新型刻蚀停止技术制备了具有埋脊、条纹结构的高功率多束AlGaAs TQW激光器

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