Étude d'un plasma de SF6 hors d'équilibre thermique

Abstract

L'influence des parametres suivants : temperature de vibration, desequilibre thermique, pression et vapeurs de cuivre sur la composition et la capacite calorifique d'un plasma de SF 6 hors d'equilibre thermique est etudiee. Les effets de ces parametres sur les reactions chimiques et le comportement du plasma sont discutes. Par exemple, nous montrons que la concentration des especes chimiques chargees negativement diminue a mesure que le desequilibre thermique augmente.