A capacitance detection circuit for on-chip microparticle manipulation

2014 IEEE International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK) Pub Date : 2014-06-19 DOI:10.1109/IMFEDK.2014.6867083

Rie Yamane, H. Iwasaki, Yoshiaki Dei, J. Cui, T. Matsuoka

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Abstract

This study proposes a capacitance detection circuit for on-chip microparticle manipulation. The designed circuit employs the charge-based capacitance measurement technique to convert a capacitance value to a digital output code. Experimental results reveal capacitance measurement within error of 4 fF.

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