3D Optical Laser Lithography: Recent Progress

Rundbrief Der Gi-fachgruppe 5.10 Informationssystem-architekturen Pub Date : 2016-07-25 DOI:10.1364/ISA.2016.IM4F.1

M. Wegener

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Abstract

We review some of our recent progress on three-dimensional multi-photon optical laser lithography. This includes STED-like approaches for improving the spatial resolution as well as examples for novel metamaterials made along these lines. Article not available.

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三维光学激光光刻技术:最新进展

本文综述了三维多光子光学激光光刻技术的最新进展。这包括用于提高空间分辨率的类似sted的方法，以及沿着这些路线制作的新型超材料的例子。文章不可用。

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