Dérives thermiques du capteur de pression capacitif microélectronique

Abstract

Les derives thermiques du capteur de pression capacitif microelectronique sont analysees par la methode des elements finis. Differentes conditions aux limites representant une large gamme de support de capteur ont ete envisagees: capteur a base libre, capteur a base fixe et capteur colle a un support d'alumine. Dans chaque cas, la reponse thermique du capteur a ete determinee en fonction des dimensions du capteur afin de repousser la temperature de flambage et reduire en consequence la sensibilite thermique. Pour certains capteurs tres sensibles a la pression, cette temperature est tres faible et les derives thermiques sont importantes. Ainsi un capteur a base fixe (membrane de rayon 1000 μm, et epaisseur 12 μm, distance entre armatures 3,5 μm) presente une sensibilite thermique de -200 Pa °C -1 au-dessus de 80 °C. Un capteur colle a un support d'alumine, de membrane plus large (rayon 1800 μm) possede une sensibilite thermique de 3,1 Pa °C -1 au-dessous de -100 °C.