Fabrication approaches for metallo-dielectric plasmonic waveguides

SPIE MOEMS-MEMS Pub Date : 2008-02-07 DOI:10.1117/12.768161

M. Nezhad, S. Zamek, L. Pang, Y. Fainman

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Abstract

Different techniques for fabricating long-range plasmonic metallo-dielectric waveguides are discussed. The approaches depend strongly on the material system in use. Specific results are presented for SU8 and PDMS.

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