Radiation Effects in Thin-Film Ferroelectric PZT for Non-Volatile Memory Applications in Microelectronics

J. Leray, O. Musseau, P. Paillet, J. Autran, Frédéric Sodi, Y. Coic
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Abstract

Cet article traite des effets des radiations ionisantes (rayons X ou γ) dans les materiaux ferroelectriques destines aux composants electroniques utilisant des couches minces polarisables (memoires non-volatiles). Apres avoir rappele les types d'observations, on propose certains mecanismes pour decrire ces effets dans les capacites a base de PZT. Les effets de fatigue du cycle d'hysteresis sont etudies et interpretes en les couplant aux effets d'une irradiation. Comme l'irradiation, la fatigue par cyclage montre un aplatissement des courbes d'hysteresis. Dans cet expose, on montre qu'il existe un parallele entre les effets des irradiations et de la fatigue. Un mecanisme est propose base sur le mouvement des parois de domaine et son empechement progressif par epinglage des parois.
微电子非易失性存储器用薄膜铁电PZT的辐射效应
本文讨论了电离辐射(X射线或γ射线)对铁电材料的影响,用于使用极化薄层(非挥发性存储器)的电子元件。在回顾了观察的类型后,我们提出了一些机制来描述基于PZT的能力的这些影响。研究和解释了滞后周期的疲劳效应,并将其与辐射效应联系起来。与辐照一样,循环疲劳表现出滞后曲线的平坦。本文表明,辐射和疲劳的影响之间存在平行关系。提出了一种基于区域墙运动和通过钉墙逐步阻止的机制。
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