Николай Николаевич Михайлов, Сергей Алексеевич Дворецкий, Р. В. Меньшиков
{"title":"МЛЭ рост сложных фотоприёмных, лазерных и nBn структур на основе твердых\nрастворов CdHgTe","authors":"Николай Николаевич Михайлов, Сергей Алексеевич Дворецкий, Р. В. Меньшиков","doi":"10.34077/rcsp2021-45","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Рассмотрены особенности выращивания сложных гетероструктур на основе твердого раствора\nCdHgTe и HgCdTe/HgTe квантовых ям (КЯ) на альтернативных подложках из (013) CdTe/ZnTe/GaAs\nдиаметром до 3-х дюймов методом молекулярно-лучевой эпитаксии с in situ эллипсометрическим\nконтролем состава и толщины на сверхвысоковакуумной установке “Обь-М” с модернизированной\nсистемой молекулярных источников. Для лазерных структур при последовательно росте\nвыращиваются толстые волноводные слои CdHgTe с составами 0,7-0,95 молярных долей CdTe и\nтолщиной 0.3-10 мкм, в объеме которых встроены квантовые ямы (КЯ) HgCdTe/HgTe/HgCdTe в\nколичестве от 3 до 15 КЯ с такими параметрами: состав в КЯ и барьерах 30 нм составлял менее 0,05 и\n0,7-0,95 и толщиной 2.5 - 7,8 нм и 30 нм соответственно. Такие структуры обеспечивают длину волны\nстимулированного излучения в диапазоне от 3 до 31 мкм.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"12 4","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-45","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
Рассмотрены особенности выращивания сложных гетероструктур на основе твердого раствора
CdHgTe и HgCdTe/HgTe квантовых ям (КЯ) на альтернативных подложках из (013) CdTe/ZnTe/GaAs
диаметром до 3-х дюймов методом молекулярно-лучевой эпитаксии с in situ эллипсометрическим
контролем состава и толщины на сверхвысоковакуумной установке “Обь-М” с модернизированной
системой молекулярных источников. Для лазерных структур при последовательно росте
выращиваются толстые волноводные слои CdHgTe с составами 0,7-0,95 молярных долей CdTe и
толщиной 0.3-10 мкм, в объеме которых встроены квантовые ямы (КЯ) HgCdTe/HgTe/HgCdTe в
количестве от 3 до 15 КЯ с такими параметрами: состав в КЯ и барьерах 30 нм составлял менее 0,05 и
0,7-0,95 и толщиной 2.5 - 7,8 нм и 30 нм соответственно. Такие структуры обеспечивают длину волны
стимулированного излучения в диапазоне от 3 до 31 мкм.