МЛЭ рост сложных фотоприёмных, лазерных и nBn структур на основе твердых растворов CdHgTe

Николай Николаевич Михайлов, Сергей Алексеевич Дворецкий, Р. В. Меньшиков
{"title":"МЛЭ рост сложных фотоприёмных, лазерных и nBn структур на основе твердых\nрастворов CdHgTe","authors":"Николай Николаевич Михайлов, Сергей Алексеевич Дворецкий, Р. В. Меньшиков","doi":"10.34077/rcsp2021-45","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Рассмотрены особенности выращивания сложных гетероструктур на основе твердого раствора\nCdHgTe и HgCdTe/HgTe квантовых ям (КЯ) на альтернативных подложках из (013) CdTe/ZnTe/GaAs\nдиаметром до 3-х дюймов методом молекулярно-лучевой эпитаксии с in situ эллипсометрическим\nконтролем состава и толщины на сверхвысоковакуумной установке “Обь-М” с модернизированной\nсистемой молекулярных источников. Для лазерных структур при последовательно росте\nвыращиваются толстые волноводные слои CdHgTe с составами 0,7-0,95 молярных долей CdTe и\nтолщиной 0.3-10 мкм, в объеме которых встроены квантовые ямы (КЯ) HgCdTe/HgTe/HgCdTe в\nколичестве от 3 до 15 КЯ с такими параметрами: состав в КЯ и барьерах 30 нм составлял менее 0,05 и\n0,7-0,95 и толщиной 2.5 - 7,8 нм и 30 нм соответственно. Такие структуры обеспечивают длину волны\nстимулированного излучения в диапазоне от 3 до 31 мкм.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"12 4","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-45","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0

Abstract

Рассмотрены особенности выращивания сложных гетероструктур на основе твердого раствора CdHgTe и HgCdTe/HgTe квантовых ям (КЯ) на альтернативных подложках из (013) CdTe/ZnTe/GaAs диаметром до 3-х дюймов методом молекулярно-лучевой эпитаксии с in situ эллипсометрическим контролем состава и толщины на сверхвысоковакуумной установке “Обь-М” с модернизированной системой молекулярных источников. Для лазерных структур при последовательно росте выращиваются толстые волноводные слои CdHgTe с составами 0,7-0,95 молярных долей CdTe и толщиной 0.3-10 мкм, в объеме которых встроены квантовые ямы (КЯ) HgCdTe/HgTe/HgCdTe в количестве от 3 до 15 КЯ с такими параметрами: состав в КЯ и барьерах 30 нм составлял менее 0,05 и 0,7-0,95 и толщиной 2.5 - 7,8 нм и 30 нм соответственно. Такие структуры обеспечивают длину волны стимулированного излучения в диапазоне от 3 до 31 мкм.
复杂光电接收器、激光和nBn结构的生长是基于CdHgTe固定器。
研究了复杂的异质结构,基于固体溶液和HgCdTe/ hgdte / hgt量子洞(013)的替代基质(013),用分子束束束/ZnTe/ gaast(3英寸)由分子束/ZnTe/ gaast(3英寸)由分子束/ZnTe/ gaast(3英寸)由分子束/ZnTe/ gaast(3英寸)组成和厚度的分子量控制与超高真空/ o - m系统升级的分子源系统。对于激光结构序列ростевыращива胖波导层和质量浓度为0.7 - 0.95 CdHgTe techsystems份额итолщин0.3 - 10μm,内置的容量量子阱(КЯ)HgCdTe / HgTe / HgCdTeвколичеств3到15КЯКЯ参数:构成和壁垒30 nm低于0.05и0,7 - 0.95%和厚度分别为2.5 - 780 nm和30 nm。这些结构提供了3到31 mkm波动性辐射的长度。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
求助全文
约1分钟内获得全文 求助全文
来源期刊
自引率
0.00%
发文量
0
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
确定
请完成安全验证×
copy
已复制链接
快去分享给好友吧!
我知道了
右上角分享
点击右上角分享
0
联系我们:info@booksci.cn Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。 Copyright © 2023 布克学术 All rights reserved.
京ICP备2023020795号-1
ghs 京公网安备 11010802042870号
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术官方微信