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2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - 最新文献
PORT: A piezoelectric optical resonance tuner
Pub Date : 2019-03-20 DOI: 10.1109/MEMSYS.2018.8346661 B. Dong, Hao Tian, M. Zervas, T. Kippenberg, S. BhaveFast and controllable elastocapillary flow channels using suspended membranes
Pub Date : 2018-04-26 DOI: 10.1109/MEMSYS.2018.8346769 S. Fishlock, David Steele, S. Puttaswamy, G. Lubarsky, César Navarro, William P. Burns, J. McLaughlinResonant pressure sensing using a micromechanical cantilever actuated by fringing electrostatic fields
Pub Date : 2018-04-26 DOI: 10.1002/HTTPS://DOI.ORG/10.1109/MEMSYS.2018.8346688 N. Krakover, B. R. Hic, S. Krylov
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