Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics

Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
期刊缩写:
J Vac Sci Technol B Nanotechnol Microelectron
影响因子:
1.5
ISSN:
print: 2166-2746
on-line: 2166-2754
研究领域:
Materials Science-Materials Chemistry
Gold OA文章占比:
16.37%
原创研究文献占比:
0.00%
SCI收录类型:
Scopus (CiteScore)
CiteScore:
CiteScoreSJRSNIPCiteScore排名
2.70.3280.702
学科
排名
百分位
大类:Engineering
小类:Electrical and Electronic Engineering
448 / 797
43%
大类:Materials Science
小类:Materials Chemistry
192 / 317
39%
大类:Physics and Astronomy
小类:Instrumentation
86 / 141
39%
大类:Materials Science
小类:Surfaces, Coatings and Films
82 / 132
38%
大类:Materials Science
小类:Electronic, Optical and Magnetic Materials
178 / 284
37%
大类:Chemical Engineering
小类:Process Chemistry and Technology
47 / 73
36%
发文信息
中科院SCI期刊分区
大类 小类 TOP期刊 综述期刊
4区 工程技术
4区 工程:电子与电气 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
4区 纳米科技 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
4区 物理:应用 PHYSICS, APPLIED
历年影响因子
2023年1.5000
历年发表
2012年335
2013年329
2014年289
2015年284
2016年293
2017年248
2018年231
2019年218
2020年216
2021年152
2022年146
投稿信息
出版商:
AVS Science and Technology Society

Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics - 最新文献

High sensitivity saliva-based biosensor in detection of breast cancer biomarkers: HER2 and CA15-3.

Pub Date : 2024-03-01 DOI: 10.1116/6.0003370 Hsiao-Hsuan Wan, Haochen Zhu, Chao-Ching Chiang, Jian-Sian Li, Fan Ren, Cheng-Tse Tsai, Yu-Te Liao, Dan Neal, Josephine F Esquivel-Upshaw, Stephen J Pearton
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