Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics

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期刊缩写：

J Vac Sci Technol B Nanotechnol Microelectron

影响因子：

1.5

ISSN：

print: 2166-2746
on-line: 2166-2754

研究领域：

Materials Science-Materials Chemistry

Gold OA文章占比：

16.37%

原创研究文献占比：

0.00%

SCI收录类型：

Scopus (CiteScore)

CiteScore：

CiteScore	SJR	SNIP	CiteScore排名
2.7	0.328	0.702	学科排名百分位大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering 448 / 797 43% 大类：Materials Science 小类：Materials Chemistry 192 / 317 39% 大类：Physics and Astronomy 小类：Instrumentation 86 / 141 39% 大类：Materials Science 小类：Surfaces, Coatings and Films 82 / 132 38% 大类：Materials Science 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials 178 / 284 37% 大类：Chemical Engineering 小类：Process Chemistry and Technology 47 / 73 36%

发文信息

中科院SCI期刊分区

大类	小类	TOP期刊	综述期刊
4区工程技术	4区工程：电子与电气 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 4区纳米科技 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 4区物理：应用 PHYSICS, APPLIED	否	否

历年影响因子

2023年	1.5000

历年发表

2012年	335
2013年	329
2014年	289
2015年	284
2016年	293
2017年	248
2018年	231
2019年	218
2020年	216
2021年	152
2022年	146

投稿信息

出版商：

AVS Science and Technology Society

PubMed链接：

http://www.ncbi.nlm.nih.gov/nlmcatalog?term=2166-2746%5BISSN%5D

Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics - 最新文献

High sensitivity saliva-based biosensor in detection of breast cancer biomarkers: HER2 and CA15-3.

Pub Date : 2024-03-01 DOI: 10.1116/6.0003370 Hsiao-Hsuan Wan, Haochen Zhu, Chao-Ching Chiang, Jian-Sian Li, Fan Ren, Cheng-Tse Tsai, Yu-Te Liao, Dan Neal, Josephine F Esquivel-Upshaw, Stephen J Pearton

Optical and electronic spin properties of fluorescent micro- and nanodiamonds upon prolonged ultrahigh-temperature annealing.

Pub Date : 2023-07-01 DOI: 10.1116/6.0002797 Nicholas Nunn, Sergey Milikisiyants, Marco D Torelli, Richard Monge, Tom Delord, Alexander I Shames, Carlos A Meriles, Ashok Ajoy, Alex I Smirnov, Olga A Shenderova

High sensitivity CIP2A detection for oral cancer using a rapid transistor-based biosensor module.

Pub Date : 2023-01-01 DOI: 10.1116/6.0002175 Minghan Xian, Jenna L Stephany, Chan-Wen Chiu, Chao-Ching Chiang, Fan Ren, Cheng-Tse Tsai, Siang-Sin Shan, Yu-Te Liao, Josephine F Esquivel-Upshaw, Stephen J Pearton

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