IEEE Micro Electro Mechanical Systems, , Proceedings, 'An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots'

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IEEE Micro Electro Mechanical Systems, , Proceedings, 'An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots' - 最新文献

Pub Date : 1989-02-20 DOI: 10.1109/MEMSYS.1989.77966 L. Chen, Z.L. Zhang, J. J. Yao, D. C. Thomas, N. MacDonald

Pub Date : 1989-02-20 DOI: 10.1109/MEMSYS.1989.77959 A. Pisano

Pub Date : 1989-02-20 DOI: 10.1109/MEMSYS.1989.77962 M. W. Putty, S. Chang, R. Howe, A. Robinson, K. D. Wise

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