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2007 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems - 最新文献
Studies on MEMS Vacuum Sensor Based on Field Emission of Silicon Tips Array
Pub Date : 2007-04-23 DOI: 10.1109/NEMS.2007.352261 Weiren Wen, Lingyun Wang, J. Gao, Daoheng SunSpecial Invited Lectures: Microfabrication and Nanostructure Processing of Advanced Biological Systems
Pub Date : 2007-04-23 DOI: 10.1109/NEMS.2007.352004 J. Ying
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