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ICM 2001 Proceedings. The 13th International Conference on Microelectronics. - 最新文献
CMP provides the access to advanced low cost manufacturing
Pub Date : 2001-10-29 DOI: 10.1109/ICM.2001.997477 K. TorkiPerformance indicators for designing CMOS logic
Pub Date : 2001-10-29 DOI: 10.1109/ICM.2001.997497 P. Maurine, N. Azémard, D. AuvergneThe degradation of MOSFETs induced by the via etching of interlayer low-k polymers
Pub Date : 1900-01-01 DOI: 10.1109/ICM.2001.997498 L. Trabzon, O. Awadelkarim
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