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Proceedings of the 15th Biennial University/Government/ Industry Microelectronics Symposium (Cat. No.03CH37488) - 最新文献
Use of the Myers-Briggs type indicator in an undergraduate microelectronics course
Pub Date : 2003-09-04 DOI: 10.1109/UGIM.2003.1225715 R. E. Pearson, A. Bell, J.R. CroleyFabrication of an MOS Capacitor structure at NGEE ANN POLYTECHNIC's IC fabrication facility
Pub Date : 2003-09-04 DOI: 10.1109/UGIM.2003.1225755 M. PhilipIn-situ depth monitoring of the deep reactive ion etch process
Pub Date : 2003-09-04 DOI: 10.1109/UGIM.2003.1225775 Y. Imura, B.X. Li, K. Farmer
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