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2012 19th Biennial University/Government/Industry, Micro/Nano Symposium (UGIM) - 最新文献
Safety Considerations in Building Ultra-High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System for Low Temperature Group IV Epitaxy
Pub Date : 2012-07-09 DOI: 10.1109/UGIM.2012.6247104 H. Naseem, Shui-Qing Yu, S. El-Ghazaly, Z. Waqar, H. Abu-Safe, S. Adcock, B. Conley, A. Mosleh, Bryant Hankton, Asanka MunasingheFY11 Financial and Operational Survey of Major University Nanofabrication Facilities
Pub Date : 2012-07-09 DOI: 10.1109/UGIM.2012.6247088 D. Grimard, L. JonesRe-Engineering the User-Hazard "Coalface" at the Melbourne Centre for Nanofabrication
Pub Date : 2012-07-09 DOI: 10.1109/UGIM.2012.6247093 P. Spizzirri
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