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Proceedings of Ninth International Workshop on Micro Electromechanical Systems - 最新文献
A micromechanical relay with a thermally-driven mercury micro-drop
Pub Date : 1996-02-11 DOI: 10.1109/MEMSYS.1996.494035 J. Simon, S. Saffer, C. KimA new fabrication method for microactuators with piezoelectric thin film using precision cutting technique
Pub Date : 1996-02-11 DOI: 10.1109/MEMSYS.1996.493999 Y. Yamagata, S. Mihara, N. Nishioki, T. HiguchiPower characteristics of 3-D operated microturbines for minimally invasive therapy
Pub Date : 1996-02-11 DOI: 10.1109/MEMSYS.1996.494026 U. Wallrabe, J. Mohr, I. Tesari, K. Wulff
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